Depth Profiling

释义 Definition

depth profiling：深度剖析/深度剖面分析。指沿材料或介质的“深度方向”（从表面向内部）测量某种性质或成分如何随深度变化的技术或方法，常见于材料科学、半导体、薄膜、地球化学与环境科学等领域。（在不同学科中也可指对“层状结构”的分层分析。）

发音 Pronunciation (IPA)

/dɛpθ ˈproʊfaɪlɪŋ/

例句 Examples

We used depth profiling to measure the oxide layer on the metal.
我们使用深度剖析来测量金属表面的氧化层厚度与分布。

Depth profiling revealed a gradual change in dopant concentration from the surface into the semiconductor bulk.
深度剖析显示掺杂浓度从表面向半导体内部逐渐变化。

词源 Etymology

该短语由 depth（深度） + profiling（绘制剖面/建立分布曲线）构成：profile 原指“侧面像、轮廓”，引申为“特征曲线/分布”；profiling 在科学语境中常表示“测出并绘制某变量的分布”。合起来即“随深度变化的分布测量”。

相关词 Related Words

• Analysis
• Characterization
• Gradient
• Layer
• Profiling
• Sputtering
• Thickness
• XPS
• SIMS

文学与著作 Literary Works

• Surface Analysis: The Principal Techniques（表面分析技术综述类著作，常讨论 XPS/AES/SIMS 的 depth profiling）
• Secondary Ion Mass Spectrometry: Basic Concepts, Instrumental Aspects, Applications and Trends（SIMS 专著中常以 depth profiling 描述薄膜与多层结构的成分随深度分布）
• Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy（XPS 参考手册中常涉及结合离子溅射的 depth profiling 方法与注意事项）